مقاومتی
سنسور مقاومتی وسیله ای است که مقادیر فیزیکی اندازه گیری شده مانند جابجایی، تغییر شکل، نیرو، شتاب، رطوبت، دما و غیره را به مقادیر مقاومت تبدیل می کند. عمدتاً گیج فشار مقاومتی، نوع پیزورمقاومتی، مقاومت حرارتی، حرارتی، حساس به گاز، حساس به رطوبت و سایر دستگاه های سنجش مقاومتی وجود دارد.
کرنش سنج مقاومتی
کرنش سنج های مقاومتی در سنسور دارای اثر کرنش فلزی هستند، به عنوان مثال، تغییر شکل مکانیکی تحت تأثیر یک نیروی خارجی رخ می دهد، به طوری که مقدار مقاومت مطابق با آن تغییر می کند. دو نوع اصلی کرنش سنج مقاومتی وجود دارد: فلزی و نیمه هادی و کرنش سنج های فلزی به نوع سیمی، نوع فویل و نوع لایه نازک تقسیم می شوند. کرنش سنج های نیمه هادی دارای مزایای حساسیت بالا (معمولا ده ها برابر انواع سیم و فویل) و اثر عرضی کوچک هستند.
پیزورمقاومتی
سنسورهای پیزومقاومتی دستگاههایی هستند که با مقاومت انتشار بر روی بستر مواد نیمهرسانا با توجه به اثر مقاومتی پیزو مواد نیمهرسانا ساخته میشوند. زیرلایه را می توان مستقیماً به عنوان عنصر سنجش اندازه گیری استفاده کرد و مقاومت انتشار به شکل یک پل به بستر متصل می شود. هنگامی که زیرلایه توسط یک نیروی خارجی تغییر شکل میدهد، مقادیر مقاومت تغییر میکند و پل خروجی نامتعادل مربوطه را تولید میکند.
مواد زیرلایه (یا دیافراگم) مورد استفاده به عنوان سنسورهای پیزومقاومتی عمدتاً ویفرهای سیلیکونی و ویفرهای ژرمانیومی هستند و سنسورهای پیزومقاومتی سیلیکونی ساخته شده از ویفرهای سیلیکونی به عنوان مواد حساس توجه بیشتری را به خود جلب کردهاند، مخصوصاً برای سنسورهای پیزومقاومتی حالت جامد که فشار و سرعت را اندازهگیری میکنند.
RTD
اندازه گیری دمای مقاومت بر این واقعیت استوار است که مقاومت یک هادی فلزی با افزایش دما افزایش می یابد. مقاومت حرارتی بیشتر از مواد فلزی خالص ساخته می شود که پلاتین و مس بیشترین استفاده را دارند و از موادی مانند نیکل، منگنز و رودیوم برای ایجاد مقاومت های حرارتی استفاده می شود.
سنسورهای RTD با استفاده از این واقعیت که مقدار مقاومت با دما تغییر می کند، دما و پارامترهای مربوط به دما را اندازه گیری می کنند. این سنسور بیشتر برای مواردی که دقت تشخیص دما مورد نیاز است مناسب است. مواد گسترده تر RTD پلاتین، مس، نیکل و غیره هستند که دارای ویژگی های ضریب مقاومت دمایی بالا، خطی بودن خوب، عملکرد پایدار، محدوده دمایی گسترده و پردازش آسان هستند. برای اندازه گیری دما در محدوده -200 درجه ~+500 درجه استفاده می شود.